台式扫描电镜早在1935年便已经被提出来了。1942年，英国首先制成一台实验室用的扫描电镜，但由于成像的分辨率很差，照相时间太长，所以实用价值不大。经过各国科学工作者的 努力，尤其是随着电子工业技术水平的不断发展，到1956年开始生产商品扫描电镜。现在扫描电镜已广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产物质量鉴定及生产工艺控制等。
扫描电镜的特点：
（1）能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120尘尘*80尘尘*50尘尘。
（2） 样品的制备过程简单，不用切成薄片。
（3） 样品可以在样品室中作三维空间的平移和旋转，因此可以从各种角度对样品进行观察。
（4） 景深大，图像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。
（5） 图像的放大范围广，分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍，它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间，可达3nm。
（6） 电子束对样品的损伤与污染程度较小。
（7） 能够进行动态观察（如动态拉伸、压缩、弯曲、升降温等）。
（8） 在观察形貌的同时，还可利用从样品发出的其他信号做微区成分及晶体学分析。
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